质量流量控制器是用于精确控制气体体积流量的仪表，由质量流量传感器、热式原件、调节阀和放大电路组成，它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成，它相较于质量流量计多了一个精密的电磁比例调节阀。因此，一般情况下控制器会有一个阀门全开模式，可以作为质量流量计来使用。
工作原理：
质量流量控制器内置压力和温度传感器，能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异，并根据作为电信号发送的设定流量通过精密电磁比例调节阀自动控制气体流量，从而提供更加准确和稳定的流量测量和控制。
其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
质量流量计和质量流量控制器相较于传统流量计不管是在使用的便捷性，还是长期稳定性、可靠性上都有着极大的优势：
(1)传统流量计包括浮子流量计、涡轮流量计、容积流量计等，这类传统流量计内部有运动部件，适用范围相对比较狭小，在微流量测量领域精度较差。而新型质量流量计和控制器量程比可达100:1，精度可做到0.5%~1.0%RD(流量读数*0.5%~1.0%)或者0.5%~1.0%SP(流量设定值*0.5%~1.0%)。
(2)新型的质量流量计和控制器在设计之初就贴合了制造业的在线监测和反馈控制的需求，可远程通过模拟信号量(4-20mA)/0-5V或者数字信号量RS485、profibus等进行数据监测以及流量的精确控制。
